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產品名稱:程控晶圓加熱板

產品型號:Torrey Pines

更新時間:2025-05-14

產品報價:

產品特點:應用領域:
清潔硅晶圓
干燥硅晶圓
蝕刻硅晶圓
熱測試電路
熱測試環(huán)氧樹脂
焊接表面貼裝PCB
PCB的生命周期測試
測試液晶顯示器

Torrey Pines程控晶圓加熱板的詳細資料:

Torrey Pines 程控晶圓加熱板是一種可編程的數(shù)字電熱板,專為烘烤晶圓硅片而設計。 在手動操作模式中,只需設置一個目標溫度,設備就會達到并保持該精確溫度在±1°C之內。 在編程模式下,程序可以存儲在內存中,以便即時調用和使用。 存儲的程序將一次又一次*相同地自動運行。

根據(jù)需要,程序可以是簡單的也可以是復雜的。 可以存儲多個溫度,溫度上升速率(如果需要)和停留時間。 這些程序可以編寫并存儲在本機隨附的分離式控制器中,或者當用戶在后部的RS-232 I / O端口連接PC上來編寫程序并通過PC運行該程序時,程序可以根據(jù)需要盡可能的簡單或復雜。

特征

1.直徑為354.24毫米(13.875英寸)的加熱表面

2.研磨的平板鋁非常適合12英寸(304.8毫米)或更小的硅晶片

3.可通過RS232 I / O端口或通過控制器從PC或工業(yè)控制器進行遠程控制

4.可使用隨附的分離式控制器對加熱板進行控制和編程

5.溫度范圍從室溫到350°C

6.可讀且可設置為1°C

7.精度為設定值的1

8.從加熱板表面中間到側面0.75 in范圍內的溫度均勻度優(yōu)于1

9.溫度穩(wěn)定性±1°C

10.校準至0.1°C以確保準確性

11.控制器可存儲5個單獨的程序,每個程序多可存儲10個步驟,以進行各種手動操作,可重復的樣品運行

12.程序可自動重復199次,如果需要,可以無限次重復

13.變溫可以1°C /小時的基數(shù)增量從1°C450°C上升或下降

14.1500 W加熱器功率

15.機箱底部的*溫度指示照明環(huán)。顏色從藍色(無目標溫度)變?yōu)辄S色(加熱至50°C以下)至紅色(加熱至50°C以上)。指示燈將閃爍,直到溫度穩(wěn)定在±0.2°C之內

16.內置倒數(shù)計時器,帶有聲音警報和可設置的自動關閉

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